等離子體被稱(chēng)為“物質(zhì)的第四態(tài)”。我們通常認知和接觸的物質(zhì)狀態(tài)有三種：氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)，同一種物質(zhì)所含能量不同時(shí)，會(huì )在三種狀態(tài)之間相互轉換，zui低能量狀態(tài)是固態(tài)，固態(tài)吸收能量轉化成液態(tài)，液態(tài)吸收能量轉化成氣態(tài)，氣態(tài)是三個(gè)狀態(tài)中能量最高的。氣態(tài)物質(zhì)吸收更多的能量，就會(huì )產(chǎn)生物質(zhì)的第四態(tài)，也就是等離子體。等離子體呈電中性，由電子、離子、光子和中性粒子組成，其中電子和正離子的數量基本相等，但等離子體并是穩定的物質(zhì)狀態(tài)，當使其電離的能量消失，各種粒子會(huì )重新結合，形成原來(lái)的氣態(tài)分子。

　　

　　導致等離子清洗機變色原因及解決辦法如下：

　　被清洗件表面變色的主要原因有兩點(diǎn)，一是因射頻頻率、功率選擇不當，導致零件整體溫度過(guò)高，造成材料變性或整體氧化；二是因零件形狀復雜，等離子體在零件局部形成了熱點(diǎn)，導致局部溫度過(guò)高，造成局部變性或氧化。

　　

　　總的來(lái)說(shuō)變色是由于產(chǎn)品表面被氧化導致，解決辦法如下：

　　如果產(chǎn)品易被氧化，一般可以充入氬氣和氫氣的混合氣體，把氫氣比例控制在一定范圍內，兼顧安全性和效率的平衡，易被氧化的產(chǎn)品，應該避免清洗腔室有氧氣的存在，可以通入氫氣將氧氣還原掉。此外功率過(guò)大溫度過(guò)高導致的產(chǎn)品變色，可以適當調整降低功率，將其控制在一個(gè)合適的范圍內。