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淺析紫外臭氧清洗機的主要應用

更新時(shí)間:2022-01-07   點(diǎn)擊次數:1651次
   紫外臭氧清洗機是如何工作的呢?它通過(guò)紫外燈發(fā)出適當強度的185nm和254nm波長(cháng)高能紫外線(xiàn)破壞有物分子(污染物)。185nm紫外線(xiàn)可以將氧分子O2變成活躍的O3臭氧分子團。254nm紫外線(xiàn)同時(shí)激發(fā)表面的有機物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子團破壞。
  
  一、目前紫外臭氧清洗機的主要應用表面UV光清洗和表面UV光改質(zhì)
  1、表面UV光清洗:利用紫外光以及由其產(chǎn)生的臭氧OZONE,對有機物質(zhì)所起的光敏氧化分解作用,以達到去除粘附在物體表面上的有機化合物(碳氫化合物),獲得超潔凈的表面。
  2、表面UV光改質(zhì):利用紫外光照射有機表面,在將有機物分解的同時(shí),254nm波長(cháng)的紫外光被物體表面吸收后,將表層的化學(xué)結構切斷,光子作用產(chǎn)生原子氧會(huì )與被切斷的表層分子結合,并將之變換成具有高度親水性的官能基(如-OH,-CHO,-COOH),從而提高表面的浸潤性。
  
  二、主要應用:
  1、石英/玻璃制品的表面清洗:液晶面板,等離子電視屏幕,彩色過(guò)濾片,光罩,棱鏡,透鏡,反射鏡,平板電視等。
  2、微電子產(chǎn)品的表面清洗:微型馬達軸,磁頭驅動(dòng)架,光盤(pán),光電器件,手機攝像頭,微型喇叭/受話(huà)器震膜,半導體硅片,掩膜版。
  3、精密集成電路的表面清洗:液晶顯示器ITO,精密電路板,軟性電路板接頭,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金屬基板的清洗,BGA基板與粘結墊的清洗。
  4、在膠粘接或是印刷之前,對高分子聚合制品的表面改性:橡膠粘接,塑料汽車(chē)部件,透鏡保護膜,塑料薄膜,樹(shù)脂成型空氣袋,IC包裝,注射針接合部份的表面性,介入導管的表面改型等。
  5、科研過(guò)程的表面清洗及處理:半導體,生物芯片,納米材料,聚合物,光化學(xué)等。