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我們應該如何去選擇勻膠機?

更新時(shí)間:2022-06-10   點(diǎn)擊次數:1716次
   旋轉涂覆技術(shù)一般采用設備是勻膠機,它是在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于該機的轉速和溶膠的黏度,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
  
  那么,我們應該如何選擇勻膠機?
  1、旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速如果誤該機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。國產(chǎn)的大部分低端設備只能提供轉速范圍,并不能標定實(shí)時(shí)的轉速。
  
  2、真空吸附系統的構造
  真空泵一定要無(wú)油的,壓力標定準確,國內生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì )讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。用過(guò)國產(chǎn)的客戶(hù)常常會(huì )關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題,這一點(diǎn)許多國外的設備做得不錯,他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì )開(kāi)始旋轉。
  
  3、材質(zhì)的選擇
  它對于半導體化工行業(yè)的應用來(lái)說(shuō),材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,國產(chǎn)的大部分設備采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà),將會(huì )導致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。