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淺聊等離子清洗機的真空腔體保養

更新時(shí)間:2023-12-26   點(diǎn)擊次數:1775次
   該設備在各行各業(yè)已經(jīng)廣泛應用,等離子清洗機設備原理并不復雜,但是一套完整的等離子系統包含很多方面。它的原理是兩個(gè)電極之間形成高頻交變電場(chǎng),用真空泵在裝置的密閉容器中實(shí)現一定的真空度隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也越來(lái)越長(cháng),區域內氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下,形成等離子體。在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下,活性等離子對孔壁內鉆污、殘膠及油污等污染物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應雙重作用,污染物部分蒸發(fā)或在高能量離子的沖擊下被擊碎,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過(guò)抽真空排出,從而達到清洗目的。
  
  設備在使用過(guò)程中,合理有效的進(jìn)行設備維護,能夠減少設備的故障率,增加設備的使用壽命,同時(shí)能夠保證清洗達到生產(chǎn)的工藝標準。這在工業(yè)生產(chǎn)制造上,能起到很大的穩定作用。

 

  
  等離子清洗機的真空腔體保養:
  等離子腔體清潔時(shí)產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別,會(huì )隨著(zhù)真空泵排除。但也會(huì )有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會(huì )附著(zhù)在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”,腔底掉落更嚴重。對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落,用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭,其次腔體導入N2和O2,用等離子體清除腔體內殘余物,工作10min。
  
  在實(shí)際生產(chǎn)中,我們發(fā)現該清洗機一些重要的部件會(huì )隨著(zhù)使用時(shí)間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問(wèn)題,會(huì )是引起該清洗機達不到清洗效果的原因,例如反應腔、電極、托板架、氣體的壓力等。