激發(fā)是指一個(gè)原子或分子和一個(gè)電子或光子的碰撞，吸收了電子或光子的能量，使原子中一個(gè)電子低能級躍遷到較高能級的這個(gè)過(guò)程。中性原子要完成激發(fā)，必須注入入射電子或光子的能量，才能引起兩能級之間的激發(fā)；除了借助外界能量，激發(fā)還可以通過(guò)和離子或其他中性粒子相碰撞而產(chǎn)生。激發(fā)過(guò)程產(chǎn)生的幾率依賴(lài)于激發(fā)截面，一個(gè)原子或分子被激發(fā)到某一能級之后，如果再繼續一次或多次碰撞，吸收能量，則可以激發(fā)到更高的能級，這一過(guò)程稱(chēng)為多級激發(fā)。

　　多級激發(fā)過(guò)程可能是非彈性碰撞的第一類(lèi)碰撞，也可能是第二類(lèi)碰撞，對于第一類(lèi)碰撞產(chǎn)生的多級激發(fā)可以有兩種情況。

　　1、電子對亞穩態(tài)原子的碰撞，使亞穩態(tài)原子吸收了能量，升到更高的激發(fā)態(tài)；

　　2、一個(gè)原子吸收了一個(gè)光子的能量，激發(fā)到較高能級，當原子回到原來(lái)能態(tài)時(shí)，產(chǎn)生共振輻射，發(fā)出相同的光子，這光子又去激發(fā)另一個(gè)原子，受激原子再輻射......

　　不斷重復，這樣使光子由一個(gè)原子傳遞給另一個(gè)原子，直到光子碰到器壁上消失為止。由于這光子的作用，使一直存在著(zhù)某種激發(fā)態(tài)的原子，增加了電子和激發(fā)態(tài)原子碰撞的機會(huì )，從而使之激發(fā)到更高的能級。